(19)

(11)

EP 3 497 730 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.06.2019  Patentblatt  2019/25 (21) Anmeldenummer: 17740010.8 (22) Anmeldetag:  17.07.2017

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 39/16(2006.01) B63H 23/24(2006.01) F17C 13/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2017/068010 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2018/050320 (22.03.2018 Gazette  2018/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 15.09.2016 DE 102016217671 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: HOFFMANN, Joachim 90559 Burgthann (DE) GRUNDMANN, Jörn 91091 Grossenseebach (DE) SCHACHERER, Christian 92364 Deining (DE)