VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN OBERFLÄCHENMESSUNG MIT HILFE EINES CHROMATISCH KONFOKALEN SENSORS

(19)

(11)

EP 3 504 507 B8

(12)	KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
	Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15)	Korrekturinformation:
	Korrigierte Fassung Nr. 1 (W1 B1)

(48)	Corrigendum ausgegeben am:
	01.12.2021 Patentblatt 2021/48

(45)	Hinweis auf die Patenterteilung:
	08.09.2021 Patentblatt 2021/36

(21)	Anmeldenummer: 17749612.2

(22)	Anmeldetag: 12.07.2017

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

G01B 11/02^(2006.01)
G01B 11/06^(2006.01)

G01B 11/24^(2006.01)

(52)	Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
	G01B 11/0608; G01B 2210/50; G01B 11/026; G01B 11/24

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2017/067565

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2018/036715 (01.03.2018 Gazette 2018/09)

(54)	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN OBERFLÄCHENMESSUNG MIT HILFE EINES CHROMATISCH KONFOKALEN SENSORS METHOD AND DEVICE FOR OPTICAL SURFACE MEASUREMENT BY MEANS OF A CHROMATICALLY CONFOCAL SENSOR PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE DE SURFACE À L'AIDE D'UN CAPTEUR CONFOCAL CHROMATIQUE

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30)

Priorität:

25.08.2016 DE 102016115827

(43)	Veröffentlichungstag der Anmeldung:
	03.07.2019 Patentblatt 2019/27

(73)	Patentinhaber: NanoFocus AG
	46049 Oberhausen (DE)

(72)	Erfinder:
	FRANK, Johannes 51065 Köln (DE)

(74)	Vertreter: Schneiders & Behrendt Bochum
	Huestraße 23 44787 Bochum 44787 Bochum (DE)

(56)

Entgegenhaltungen: :

DE-A1-102008 029 459
DE-A1-102013 016 368
US-A- 3 452 278

DE-A1-102012 111 008
GB-A- 2 497 792

Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).