(19)
(11) EP 3 510 178 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.07.2019  Patentblatt  2019/29

(21) Anmeldenummer: 17769005.4

(22) Anmeldetag:  08.09.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/455(2006.01)
C23C 16/18(2006.01)
 C23C 16/44(2006.01)
C23C 16/30(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/072565
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/046650 (15.03.2018 Gazette  2018/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 09.09.2016 DE 102016116953
16.01.2017 DE 102017100725

(71) Anmelder: Aixtron SE
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • KOLLBERG, Marcel
    52146 Würselen (DE)
  • KRÜCKEN, Wilhelm Josef Thomas
    52076 Aachen (DE)
  • RUDA Y WITT, Francisco
    52249 Eschweiler (DE)
  • DEUFEL, Markus
    52072 Aachen (DE)
  • PFISTERER, Mike
    52146 Würselen (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) CVD-REAKTOR UND VERFAHREN ZUM REINIGEN EINES CVD-REAKTORS