(19)
(11) EP 3 510 622 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.07.2019  Patentblatt  2019/29

(21) Anmeldenummer: 17755507.5

(22) Anmeldetag:  22.08.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/20(2006.01)
H01J 37/26(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/071141
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/046293 (15.03.2018 Gazette  2018/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 07.09.2016 DE 102016116765

(71) Anmelder: SPECS Surface Nano Analysis GmbH
13355 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • BREITSCHAFT, Martin
    13086 Berlin (DE)
  • JOHANSSON, Martin
    10407 Berlin (DE)
  • FUNNEMANN, Dietmar
    13187 Berlin (DE)
  • KUNZE, Kai
    10115 Berlin (DE)
  • HAGEN, Sebastian
    16515 Oranienburg (DE)
  • SCHAFF, Oliver
    10439 Berlin (DE)
  • KAMPEN, Thorsten
    12161 Berlin (DE)
  • THISSEN, Andreas
    12161 Berlin (DE)

(74) Vertreter: PATERIS Patentanwälte PartmbB 
Markgrafenstrasse 22
10117 Berlin
10117 Berlin (DE)

   


(54) NAP IMMERSIONSLINSE