ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESMMA....MD..........*XBDM Ver 0.1.67 (18 Oct 2017) - 1100000/03510622A120190717EP17755507.52017082220190404dedede10201611676520160907DE2019071720192920190717201929H01J 37/20 20060101AFI20180316BHEP H01J 37/26 20060101ALI20180316BHEP deNAP IMMERSIONSLINSEenNAP IMMERSION LENSfrLENTILLE À IMMERSION NAPSPECS Surface Nano Analysis GmbH101193444S50900/WOEPVoltastrasse 513355 BerlinDEBREITSCHAFT, MartinCharlottenburger Str. 7713086 BerlinDEJOHANSSON, MartinPasteurstr. 1510407 BerlinDEFUNNEMANN, DietmarGalenusstr. 63d13187 BerlinDEKUNZE, KaiHabersaathstr. 3210115 BerlinDEHAGEN, SebastianOberhofer Strasse 1216515 OranienburgDESCHAFF, OliverSchönfließer Strasse 1610439 BerlinDEKAMPEN, ThorstenMainauer Str. 312161 BerlinDETHISSEN, AndreasRoennebergstr. 712161 BerlinDEPATERIS Patentanwälte PartmbB101443031Markgrafenstrasse 2210117 BerlinDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEMAMDEP201707114120170822deWO201804629320180315201811