(19)
(11) EP 3 526 159 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.08.2019  Patentblatt  2019/34

(21) Anmeldenummer: 17778255.4

(22) Anmeldetag:  29.09.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81C 1/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/074831
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/069068 (19.04.2018 Gazette  2018/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 14.10.2016 DE 102016220055

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • KUGLER, Andreas
    73553 Alfdorf (DE)
  • LUX, Alexander
    99897 Tambach-Dietharz (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MIKROMECHANISCHEN DRUCKSENSORVORRICHTUNG