(19)

(11)

EP 3 529 836 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.08.2019  Patentblatt  2019/35 (21) Anmeldenummer: 17807785.5 (22) Anmeldetag:  20.11.2017

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/423(2006.01) H01L 21/285(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2017/079707 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2018/091699 (24.05.2018 Gazette  2018/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 21.11.2016 DE 102016122399 (71) Anmelder: Forschungsverbund Berlin E.V. 12489 Berlin (DE)	(72) Erfinder: OSIPOV, Konstantin 12353 Berlin (DE) LOSSY, Richard 14197 Berlin (DE) WÜRFL, Hans-Joachim 15738 Zeuthen (DE) (74) Vertreter: Gulde & Partner  Patent- und Rechtsanwaltskanzlei mbB Wallstraße 58/59 10179 Berlin 10179 Berlin (DE)