(19)

(11)

EP 3 535 435 A1

(12)

(43) Date de publication: 11.09.2019  Bulletin  2019/37 (21) Numéro de dépôt: 17804615.7 (22) Date de dépôt:  31.10.2017

(51) Int. Cl.:  C23C 16/30(2006.01) C23C 16/452(2006.01) C23C 16/448(2006.01) C23C 16/455(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2017/052998 (87) Numéro de publication internationale: WO 2018/083415 (11.05.2018 Gazette  2018/19)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD (30) Priorité: 02.11.2016 FR 1660583 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: GASSILLOUD, Rémy 38380 Saint-Laurent-Du-Pont (FR) (74) Mandataire: Brevalex  95, rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)