(19)

(11)

EP 3 552 232 A1

(12)

(43) Date de publication: 16.10.2019  Bulletin  2019/42 (21) Numéro de dépôt: 17821688.3 (22) Date de dépôt:  06.12.2017

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(2006.01) H01L 21/763(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2017/053421 (87) Numéro de publication internationale: WO 2018/109320 (21.06.2018 Gazette  2018/25)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD TN (30) Priorité: 12.12.2016 FR 1662301 (71) Demandeur: Aledia 38040 Grenoble (FR)	(72) Inventeurs: LACAVE, Thomas 38000 Grenoble (FR) GILET, Philippe 38470 Teche (FR) (74) Mandataire: Cabinet Beaumont  4, Place Robert Schuman B.P. 1529 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)