(19)
(11) EP 3 552 241 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.10.2019  Patentblatt  2019/42

(21) Anmeldenummer: 17805213.0

(22) Anmeldetag:  30.11.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/778(2006.01)
H01L 29/40(2006.01)
H01L 29/20(2006.01)
 H01L 21/338(2006.01)
H01L 29/423(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/080919
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/104136 (14.06.2018 Gazette  2018/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 09.12.2016 DE 102016123934

(71) Anmelder: United Monolithic Semiconductors GmbH
89081 Ulm (DE)

(72) Erfinder:
  • BEHAMMER, Dag
    89079 Ulm (DE)

(74) Vertreter: Baur & Weber Patentanwälte PartG mbB 
Rosengasse 13
89073 Ulm
89073 Ulm (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES TRANSISTORS