(19)
(11) EP 3 552 403 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.10.2019  Patentblatt  2019/42

(21) Anmeldenummer: 17804880.7

(22) Anmeldetag:  24.11.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H04R 1/06(2006.01)
H04R 19/04(2006.01)
 H04R 19/00(2006.01)
H04R 1/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/080348
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/108482 (21.06.2018 Gazette  2018/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 12.12.2016 DE 102016124057

(71) Anmelder: TDK Corporation
Tokyo 103-6128 (JP)

(72) Erfinder:
  • EDER, Florian
    91052 Erlangen (DE)
  • PIHALE, Sven
    91792 Ellingen (DE)
  • UEBLER, Matthias
    92289 Ursensollen (DE)
  • PAHL, Wolfgang
    81379 München (DE)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Schloßschmidstraße 5
80639 München
80639 München (DE)

   


(54) MEMS-MIKROFON MIT OBEN ANGEORDNETER SCHALLÖFFNUNG UND VERRINGERTEN MECHANISCHEN BELASTUNGEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG