(19)
(11) EP 3 554 723 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2019  Patentblatt  2019/43

(21) Anmeldenummer: 17746082.1

(22) Anmeldetag:  28.07.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B07B 1/46(2006.01)
B07B 13/04(2006.01)
B07B 13/16(2006.01)
B07B 4/08(2006.01)
B07B 13/07(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/069199
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/108334 (21.06.2018 Gazette  2018/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 16.12.2016 DE 102016225248

(71) Anmelder: Siltronic AG
81737 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BUSCHHARDT, Thomas
    84489 Burghausen (DE)
  • EHRENSCHWENDTNER, Simon
    84543 Winhöring (DE)
  • HINTERBERGER, Thomas
    84508 Burgkirchen (DE)
  • WACKERBAUER, Hans-Günther
    84453 Mühldorf (DE)

(74) Vertreter: Killinger, Andreas 
Siltronic AG Intellectual Property Johannes-Hess-Straße 24
84489 Burghausen
84489 Burghausen (DE)

   


(54) ABSCHEIDEVORRICHTUNG FÜR POLYSILICIUM