(19)

(11)

EP 3 555 924 A1

(12)

(43) Date de publication: 23.10.2019  Bulletin  2019/43 (21) Numéro de dépôt: 17822597.5 (22) Date de dépôt:  11.12.2017

(51) Int. Cl.:  H01L 29/34(2006.01) H01L 29/06(2006.01) H01L 21/762(2006.01) H01L 21/306(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2017/082283 (87) Numéro de publication internationale: WO 2018/108840 (21.06.2018 Gazette  2018/25)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD TN (30) Priorité: 15.12.2016 FR 1662492 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: CHARLES, Matthew 38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Esselin, Sophie et al Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble Visium 22 avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)