La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un ressort moteur pour pièce d'horlogerie.

Par ressort moteur on entend tout ressort, autre qu'un ressort exerçant une simple fonction de rappel, capable d'emmagasiner de l'énergie pour alimenter le fonctionnement d'un mécanisme. Un exemple typique de ressort moteur est le ressort de barillet.

Dans l'horlogerie mécanique, le ressort de barillet apporte l'énergie permettant d'entretenir l'oscillateur de la montre. Le ressort de barillet est logé dans un tambour de barillet et fournit son énergie par l'intermédiaire d'un système de roues et pignons qui engrène avec le tambour de barillet. La place disponible pour stocker l'énergie, à savoir le volume du tambour de barillet, est limitée, surtout dans les montres-bracelets, ceci d'autant plus lorsque la montre est fine. De cette place disponible dépend la quantité d'énergie emmagasinable. Cette quantité d'énergie est utilisée pour garantir une certaine durée de marche de la montre. La précision de la marche est, elle, déterminée par la fréquence et l'inertie de l'oscillateur. Un oscillateur à haute fréquence et haute inertie aura une très bonne précision de marche mais nécessitera un apport d'énergie conséquent, ce qui peut pénaliser la durée de marche. Un compromis doit donc être opéré entre la durée de marche et la précision de l'oscillateur.

La quantité d'énergie emmagasinable est aussi liée au matériau dans lequel on fabrique le ressort de barillet. Depuis plusieurs années, des fabricants utilisent le Nivaflex®, un alliage à base de Co, Ni, Cr et Fe développé par la société Vacuumschmelze GmbH & Co. KG. Cet alliage a pour avantage notable de présenter une très haute limite élastique, d'environ 3,7 GPa, donnée par l'écrouissage et les traitements thermiques, tout en conservant une part de ductilité. Quelques améliorations (Nivaflex Plus, demande de brevet DE 102009014442) ou matériaux alternatifs (Bioflex®, brevet CH 704471) sont maintenant proposés, mais sans permettre un gain significatif des propriétés mécaniques et de la quantité d'énergie stockée. Il est également proposé de réaliser des ressorts de barillet en verre métallique (brevets CH 698962 et CH 704391) ou en un matériau composite comprenant une portion de support en un matériau métallique ou en un métalloïde tel que le carbone, le silicium ou le germanium, cette portion de support étant recouverte par une deuxième portion, en diamant, supportant l'essentiel des contraintes de déformation (brevet CH 706020 de la demanderesse).

Le silicium est un matériau de plus en plus utilisé dans l'horlogerie et qui présente de nombreux avantages. Cependant, sa limite élastique et le rapport de sa limite élastique au carré sur son module d'élasticité (σ²/E) sont trop bas pour pouvoir emmagasiner suffisamment d'énergie pour alimenter le fonctionnement d'un mouvement horloger. C'est pourquoi, dans le brevet CH 706020, on l'associe avec du diamant, mais sans que cela donne en pratique entière satisfaction en termes de résistance mécanique.

La présente invention vise à remédier à ces inconvénients, au moins en partie, et propose à cette fin un procédé selon la revendication 1 ou la revendication 2.

Un mode de réalisation particulier du procédé de fabrication d'un ressort moteur d'horlogerie, de préférence un ressort de barillet, selon l'invention va maintenant être décrit.

Une première étape consiste à graver dans une plaquette de silicium, de préférence par gravure ionique réactive profonde (DRIE), une pièce ayant la forme souhaitée, typiquement en spirale, et sensiblement les dimensions souhaitées du ressort moteur.

Le silicium peut être monocristallin, polycristallin ou amorphe. S'il est monocristallin, son orientation cristalline est de préférence {111} pour que son module de Young soit isotrope. Le silicium polycristallin est préféré au silicium monocristallin pour son isotropie et sa plus grande résistance mécanique. Le silicium utilisé dans l'invention peut en outre être dopé ou non.

Une deuxième étape du procédé consiste à oxyder thermiquement la pièce, typiquement à une température comprise entre 600°C et 1300°C, de préférence entre 800°C et 1200°C, de manière à la recouvrir d'une couche d'oxyde de silicium (SiO₂). Cette couche d'oxyde de silicium se forme en consommant du silicium, ce qui fait reculer l'interface entre le silicium et l'oxyde de silicium et atténue les défauts de surface du silicium.

A une troisième étape, la couche d'oxyde de silicium est éliminée, par exemple par gravure humide, gravure en phase vapeur ou gravure sèche.

A une quatrième étape, on applique à la pièce le traitement de recuit décrit dans la demande de brevet CH 702431, qui est incorporée dans la présente demande par renvoi. Ce traitement de recuit (« thermal annealing » en anglais) est effectué dans une atmosphère réductrice, de préférence à une pression strictement supérieure à 100 Torr et inférieure ou égale à la pression atmosphérique (760 Torr), mais qui peut être de l'ordre de la pression atmosphérique, et de préférence à une température comprise entre 800°C et 1300°C. La durée du traitement de recuit peut être de quelques minutes à plusieurs heures. L'atmosphère réductrice peut être constituée principalement ou totalement d'hydrogène. Elle peut comprendre aussi de l'argon ou tout autre gaz neutre.

La combinaison des deuxième, troisième et quatrième étapes (oxydation, désoxydation et recuit) confère à la pièce des propriétés mécaniques remarquables pour un ressort moteur. Les ébréchures et autres défauts susceptibles de créer des amorces de rupture sont fortement réduits voire supprimés. La rugosité des surfaces est lissée. Les vaguelettes que crée la gravure DRIE sur les flancs de la pièce sont atténuées voire supprimées. Les arêtes sont arrondies, ce qui diminue les concentrations de contraintes. La limite à la rupture du silicium, correspondant à sa limite élastique, est augmentée.

A une cinquième étape du procédé, on forme sur la pièce une couche d'oxyde de silicium (SiO₂) permettant d'augmenter sa résistance mécanique. Cette couche d'oxyde de silicium peut être formée par oxydation thermique, de la même manière qu'à la deuxième étape, ou par dépôt, notamment dépôt chimique ou physique en phase vapeur (CVD, PVD). Elle est de préférence formée sur toute ou presque toute la surface de la pièce. Son épaisseur est par exemple de quelques micromètres.

Typiquement, ladite pièce fait partie d'un lot de pièces réalisées dans une même plaquette de silicium. A une dernière étape du procédé, la pièce et les autres pièces du lot sont détachées de la plaquette.

Le procédé selon l'invention, grâce aux traitements de surface décrits ci-dessus, permet l'obtention de ressorts moteurs atteignant des limites élastiques en flexion supérieures à 3 GPa et pouvant même aller jusqu'à 6 GPa. La capacité de stockage d'énergie (σ²/E) est augmentée.

Le(s) ressort(s) moteur(s) obtenu(s) selon le procédé selon l'invention peut(peuvent) comprendre des parties remplissant des fonctions supplémentaires par rapport au stockage et à la restitution d'énergie, par exemple des parties servant de bonde ou de bride comme décrit dans le brevet CH 705368.

Dans une variante de l'invention, la quatrième étape (recuit) est mise en oeuvre avant la deuxième étape (oxydation thermique).