(19)

(11)

EP 3 559 998 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 30.08.2018 (43) Date de publication: 30.10.2019  Bulletin  2019/44 (21) Numéro de dépôt: 17828965.8 (22) Date de dépôt:  18.12.2017

(51) Int. Cl.:  H01L 29/778(2006.01) H01L 29/10(2006.01) H01L 23/31(2006.01) H01L 29/20(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2017/053673 (87) Numéro de publication internationale: WO 2018/115699 (28.06.2018 Gazette  2018/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD TN (30) Priorité: 22.12.2016 FR 1663233 (71) Demandeur: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: COSNIER, Thibault 38000 Grenoble (FR) LUCCI, Luca 38000 Grenoble (FR) TORRES, Alphonse 38000 GRENOBLE (FR) (74) Mandataire: Guérin, Jean-Philippe  Innovation Competence Group 310 avenue Berthelot 69372 Lyon Cedex 08 69372 Lyon Cedex 08 (FR)