(19)

(11)

EP 3 577 257 A1

(12)

(43) Date de publication: 11.12.2019  Bulletin  2019/50 (21) Numéro de dépôt: 18705964.7 (22) Date de dépôt:  31.01.2018

(51) Int. Cl.:  C30B 23/02(2006.01) C30B 25/18(2006.01) H01L 21/683(2006.01) C30B 23/04(2006.01) C30B 29/02(2006.01) C30B 33/06(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2018/050217 (87) Numéro de publication internationale: WO 2018/142061 (09.08.2018 Gazette  2018/32)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD TN (30) Priorité: 02.02.2017 FR 1750868 (71) Demandeur: Soitec 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: GHYSELEN, Bruno 38170 Seyssinet-Pariset (FR) BETHOUX, Jean-Marc 38500 La Buisse (FR) (74) Mandataire: Regimbeau  20, rue de Chazelles 75847 Paris Cedex 17 75847 Paris Cedex 17 (FR)