(19)
(11) EP 3 580 786 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.10.2018

(43) Veröffentlichungstag:
18.12.2019  Patentblatt  2019/51

(21) Anmeldenummer: 18707621.1

(22) Anmeldetag:  08.02.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0236(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
 C25F 3/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2018/100110
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/145699 (16.08.2018 Gazette  2018/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD TN

(30) Priorität: 09.02.2017 DE 102017102632

(71) Anmelder: RENA Technologies GmbH
78148 Gütenbach (DE)

(72) Erfinder:
  • KÜHNLEIN, Holger
    79279 Vörstetten (DE)
  • DÜMPELFELD, Wolfgang
    79350 Sexau (DE)
  • BURSCHIK, John
    79279 Vörstetten (DE)
  • STRAUB, Benedikt
    79361 Sasbach-Jechtingen (DE)

(74) Vertreter: Heyerhoff Geiger & Partner Patentanwälte PartGmbB 
Heiligenbreite 52
88662 Überlingen
88662 Überlingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM TEXTURIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES HALBLEITERMATERIALS SOWIE VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS