(19)
(11) EP 3 593 387 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.01.2020  Patentblatt  2020/03

(21) Anmeldenummer: 18710415.3

(22) Anmeldetag:  07.03.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0236(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
B05B 1/20(2006.01)
 H01L 31/18(2006.01)
H01L 21/02(2006.01)
B24C 1/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/055588
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/162546 (13.09.2018 Gazette  2018/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 10.03.2017 DE 102017203977

(71) Anmelder: Gebr. Schmid GmbH
72250 Freudenstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • NIETHAMMER, Michael
    75365 Calw (DE)
  • SEN, Ilker
    78050 Villingen-Schwenningen (DE)
  • SCHOCH, Martin
    72250 Freudenstadt (DE)
  • KIRSCHBAUM, Stefan
    72280 Dornstetten (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB 
Kronenstraße 30
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG TEXTURIERTER WAFER UND AUFRAUSPRÜHSTRAHLBEHANDLUNGSVORRICHTUNG