(19)
(11) EP 3 596 759 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.12.2018

(43) Veröffentlichungstag:
22.01.2020  Patentblatt  2020/04

(21) Anmeldenummer: 18714726.9

(22) Anmeldetag:  15.03.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/06(2006.01)
H01L 41/20(2006.01)
 H01L 41/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/056603
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/167242 (20.09.2018 Gazette  2018/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 15.03.2017 DE 102017105531

(71) Anmelder: Eto Magnetic GmbH
78333 Stockach (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHNETZLER, René
    88605 Meßkirch (DE)
  • SCHIEPP, Thomas
    78606 Seitingen-Oberflacht (DE)
  • ECKHARDT, Harald
    88690 Uhldingen-Mühlofen (DE)

(74) Vertreter: Daub, Thomas 
Patent- und Rechtsanwaltskanzlei Daub Bahnhofstrasse 5
88662 Überlingen
88662 Überlingen (DE)

   


(54) AKTORVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER AKTORVORRICHTUNG