(19)

(11)

EP 3 602 620 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.02.2020  Patentblatt  2020/06 (21) Anmeldenummer: 18720153.8 (22) Anmeldetag:  16.04.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/34(2006.01) H05K 7/20(2006.01) G05D 23/00(2006.01) H01L 23/473(2006.01) G01R 31/28(2006.01) H01L 23/40(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/059615 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2018/197241 (01.11.2018 Gazette  2018/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 28.04.2017 DE 102017207178 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: BENKERT, Katrin 90571 Schwaig (DE) KAUTZ, Martin 91056 Erlangen (DE) MACHER, Andreas 01157 Dresden (DE) SCHACHERER, Christian 92364 Deining (DE)