(19)
(11) EP 3 610 222 A1

(12)

(43) Date de publication:
19.02.2020  Bulletin  2020/08

(21) Numéro de dépôt: 18720128.0

(22) Date de dépôt:  11.04.2018
(51) Int. Cl.: 
G01B 9/02(2006.01)
G02B 21/00(2006.01)
 G01B 9/04(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2018/059306
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2018/189250 (18.10.2018 Gazette  2018/42)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 11.04.2017 EP 17166026

(71) Demandeurs:
  • Université de Strasbourg
    67000 Strasbourg (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • MONTGOMERY, Paul
    67550 Vendenheim (FR)
  • LECLER, Sylvain
    67200 Strasbourg (FR)
  • PERRIN, Stéphane
    67100 Strasbourg (FR)
  • LEONG-HOI, Audrey
    67100 Strasbourg (FR)

(74) Mandataire: IPAZ 
Parc Les Algorithmes, Bâtiment Platon CS 70003 Saint-Aubin
91192 Gif-sur-Yvette Cedex
91192 Gif-sur-Yvette Cedex (FR)

   


(54) SYSTEME ET PROCEDE DE METROLOGIE OPTIQUE PLEIN CHAMP EN SUPER RESOLUTION A L'ECHELLE NANOMETRIQUE EN CHAMP LOINTAIN