(19)

(11)

EP 3 610 329 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.02.2020  Patentblatt  2020/08 (21) Anmeldenummer: 18717578.1 (22) Anmeldetag:  10.04.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/42(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B08B 7/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/059139 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2018/189164 (18.10.2018 Gazette  2018/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 13.04.2017 DE 102017108076 (71) Anmelder: IST METZ GmbH 72622 Nürtingen (DE)	(72) Erfinder: STARZMANN, Oliver 72669 Unterensingen (DE) SCHIETTINGER, Thomas 72622 Nürtingen (DE) JAHN-QUADER, Uwe 72658 Bempfingen (DE) SCHMITT, Peter 97074 Würzburg (DE) (74) Vertreter: Pfiz, Thomas et al Pfiz/Gauss Patentanwälte PartmbB Tübinger Strasse 26 70178 Stuttgart 70178 Stuttgart (DE)