DREHSCHIEBERVAKUUMPUMPE

Beschreibung

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Drehschiebervakuumpumpe nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine solche Drehschiebervakuumpumpe ist in der DE 10 2010 026 031 A1 und der WO 2006/036598 A2 offenbart. Die US 986 502 A, die EP 0 099 412 A1 und die US 4 515 514 A offenbaren Drehschieber-Kompressoren mit einem Pumpraum, der im Querschnitt von einer Kreisform abweicht. Bekannte Drehschiebervakuumpumpen weisen einen kreiszylindrischen Pumpraum bzw. einen solchen mit einem kreisförmigen Querschnitt auf. Die Mittelachse des Kreiszylinders ist dabei parallel zur Rotationsachse des Rotors angeordnet und von dieser radial beabstandet. Ein derartiger Pumpraum ist durch seine Kreisform einfach mit guten Toleranzen zu fertigen, beispielsweise indem eine Bohrung in einen Gehäusekörper für den Pumpraum eingebracht wird.

[0002] Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Drehschiebervakuumpumpe der eingangs genannten Art mit besonders guter Pumpleistung, insbesondere hohem Saugvermögen, bereitzustellen.

[0003] Diese Aufgabe wird durch eine Drehschiebervakuumpumpe mit den in Anspruch 1 genannten Merkmalen gelöst.

[0004] Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass der kreisförmige Querschnitt bei den bekannten Drehschiebervakuumpumpen zwar fertigungstechnisch vorteilhaft ist. Jedoch hat sich gezeigt, dass aus vakuumtechnischer Sicht eine von der Kreisform abweichenden Form des Querschnitts vorteilhaft ist, insbesondere die Pumpleistung bzw. das Saugvermögen deutlich verbessert. Der Pumpraum kann im Querschnitt z.B. oval ausgebildet sein und/oder verschiedene teilkreisförmige Umfangsbereiche aufweisen. Der erfindungsgemäß von einer Kreisform abweichende Querschnitt wird in einer Ebene senkrecht zur Rotationsachse des Rotors bzw. einer Zylinderachse des Pumpraums gemessen.

[0005] Der Pumpraum einer Drehschiebervakuumpumpe ist allgemein zylindrisch ausgebildet und durch eine Projektion seines Querschnitts gebildet, die parallel zur Rotationsachse des Rotors verläuft. Im Rahmen der vorliegenden Anmeldung wird zwischen den Begriffen "zylindrisch" und "kreiszylindrisch" differenziert, wobei "kreiszylindrisch" den Sonderfall von "zylindrisch" beschreibt, dass der Querschnitt kreisförmig ist. Der Begriff "zylindrisch" bezieht sich folglich auf eine Form mit einem beliebig geformten Querschnitt, der entlang einer Zylinderachse projiziert ist.

[0006] Als Pumpraum ist allgemein derjenige Raum zu verstehen, der von dem wenigstens einen Schieber während des Pumpbetriebes bzw. während der Rotation des Rotors überstrichen wird. Insbesondere gehören daher etwa Ausnehmungen oder Taschen, welche zum Beispiel im Bereich von Einlass und/oder Auslass angeordnet sein können, nicht zum Pumpraum, wenn sie sich nicht über die gesamte axiale Länge des oder der Schieber bzw. des Pumpraums erstrecken.

[0007] Bei einer vorteilhaften Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Querschnitt durch eine Ausbuchtung von der Kreisform abweicht.

[0008] Gemäß einer Weiterbildung weist der Querschnitt einen teilkreisförmigen, ersten Umfangsbereich und einen von der Kreisform des ersten abweichenden, zweiten Umfangsbereich auf. Der erste Umfangsbereich ist also insbesondere im Wesentlichen wie ein Teilbereich des Umfangs des Pumpraums von bekannten Drehschiebervakuumpumpen ausgebildet, nämlich zum Teil kreisförmig.

[0009] Der zweite Umfangsbereich kann beispielsweise selbst teilkreisförmig ausgebildet sein oder eine andere, insbesondere komplexe, Form aufweisen. Beispielsweise kann der Querschnitt einen teilkreisförmigen, ersten Umfangsbereich und einen teilkreisförmigen, zweiten Umfangsbereich aufweisen, der zu dem ersten radial versetzt angeordnet ist. Diese Ausführungsform verbindet auf einfache Weise die fertigungstechnischen Vorteile eines teilweise kreisförmigen Querschnitts mit dem vakuumtechnischen Vorteil, dass die Pumpleistung, insbesondere das Saugvermögen, verbessert werden kann. Bei dem Versatz kann es sich insbesondere um einen horizontalen Versatz handeln.

[0010] Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass beide Umfangsbereiche einen Radius aufweisen, wobei der Versatz ein Größenverhältnis zum Radius von zumindest einem der Umfangsbereiche, insbesondere von beiden Umfangsbereichen, von wenigstens 0,1 und/oder höchstens 0,3 aufweist. Hiermit lässt sich das Saugvermögen der Pumpe deutlich erhöhen.

[0011] Die Abweichung kann bevorzugt einlassseitig angeordnet sein. Insbesondere kann eine Ausbuchtung und/oder ein zweiter Umfangsbereich einlassseitig angeordnet sein. Der Einlass des Pumpraums kann bevorzugt in die Abweichung, die Ausbuchtung und/oder den zweiten Umfangsbereich münden. Die einlassseitige Anordnung erleichtert das Einströmen des zu fördernden Gases in den Pumpraum, wodurch die Pumpwirkung, insbesondere das Saugvermögen, verbessert wird.

[0012] Als besonders vorteilhaft im Hinblick auf die Pumpleistung hat es sich erwiesen, wenn der Querschnitt von der Kreisform eines teilkreisförmigen Umfangsabschnitts um wenigstens 1 mm und/oder höchstens 10 mm abweicht. Besonders bevorzugt kann der Querschnitt von der Kreisform um wenigstens 2 mm und/oder höchstens 6 mm abweichen.

[0013] Gemessen wird diese Abweichung folglich als der radiale Abstand zwischen dem Rand des tatsächlichen Querschnitts und demjenigen Teil des Randes der Kreisform, der aufgrund der Abweichung nicht mehr Teil des tatsächlichen Querschnitts ist.

[0014] Der Rotor kann insbesondere mehrere Schieber aufweisen. Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Rotor wenigstens zwei separat voneinander gebildete Schieber aufweist, die entgegengesetzt zueinander angeordnet sind. Diese Schieber sind bevorzugt gegeneinander abgestützt, beispielsweise mittels einer Feder. Separate Schieber können insbesondere vorteilhaft der Form des Pumpraums folgen. Entgegengesetzt wirksame Schieber können alternativ beispielsweise einteilig ausgebildet oder allgemein miteinander verbunden sein. Erfindungsgemäß ist die Drehschiebervakuumpumpe mehrstufig ausgebildet. Dabei weist lediglich eine in Förderrichtung erste Stufe einen Pumpraum auf, der einen von einer Kreisform abweichenden Querschnitt umfasst. Bei der oder den übrigen Stufen kann hierdurch der fertigungstechnische Vorteil des kreisförmigen Querschnitts beibehalten werden, wobei die erste, also ansaugende Stufe ein besonders gutes Saugvermögen bereitstellen kann.

[0015] Die Aufgabe der Erfindung wird allgemein auch durch ein Verfahren zur Herstellung einer Drehschiebervakuumpumpe nach vorstehend beschriebener Art gelöst. Ferner wird die Aufgabe der Erfindung gelöst durch ein Verfahren zum Herstellen einer wie oben beschriebenen Drehschiebervakuumpumpe, wie es im Anspruch 11 beschrieben ist. Dabei umfasst ein Herstellen des Pumpraums, dass eine erste Bohrung in einen Gehäusekörper für den Pumpraum eingebracht wird und dass der Pumpraum ausgehend von der Bohrung in einer radialen Richtung spanend erweitert wird. Somit lässt sich auf fertigungstechnisch einfache Weise eine besonders gute Pumpleistung bereitstellen. Durch die radiale Erweiterung bleibt insbesondere ein teilkreisförmiger Umfangsabschnitt der Bohrung bzw. des Pumpraums bestehen. Insbesondere wird also der Pumpraum in einer von einem teilkreisförmigen Umfangsabschnitt abgewandten Richtung erweitert. Die erste Bohrung bildet insbesondere einen teilkreisförmigen Umfangsbereich des fertigen Pumpraums aus. Der Pumpraum kann beispielsweise durch Fräsen und/oder Bohren erweitert werden.

[0016] Beispielsweise kann eine zweite Bohrung radial versetzt zur ersten Bohrung in den Gehäusekörper eingebracht werden. Die Achsen der beiden Bohrungen verlaufen also parallel zueinander und sind in radialer Richtung voneinander beabstandet. Der Versatz, also der Abstand zwischen den beiden Achsen, kann grundsätzlich beliebig gewählt werden und wird insbesondere in Abhängigkeit von der Größe der Durchmesser der Bohrungen gewählt.

[0017] Der Versatz kann bevorzugt wenigstens 1 mm, insbesondere wenigstens 2 mm, und/oder höchstens 10 mm, insbesondere höchstens 6 mm, betragen.

[0018] Gemäß einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Bohrungen jeweils einen Durchmesser aufweisen und die Durchmesser um höchstens 5 mm voneinander abweichen. Besonders bevorzugt weisen die Bohrungen zumindest im Wesentlichen den gleichen Durchmesser auf.

[0019] Es versteht sich, dass die hier beschriebenen Verfahren auch durch die Merkmale und Ausführungsformen, die im Zusammenhang mit einer Drehschiebervakuumpumpe beschrieben werden, vorteilhaft weitergebildet werden können, und umgekehrt.

[0020] Die Erfindung wird nachfolgend lediglich beispielhaft anhand der schematischen Zeichnung erläutert.

Fig. 1

zeigt eine Drehschiebervakuumpumpe des Standes der Technik im Querschnitt.

Fig. 2

zeigt einen Pumpraum einer erfindungsgemäßen Drehschiebervakuumpumpe im Querschnitt.

[0021] Fig. 1 zeigt eine Drehschiebervakuumpumpe 10 des Standes der Technik und dient der kurzen Illustration ihres bekannten Arbeitsprinzips. Es ist ein Gehäusekörper 12 gezeigt, der einen Einlass 14 und einen Auslass 16 definiert. Im Gehäusekörper 12 ist ein Pumpraum 18 ausgebildet, dessen hier sichtbarer Querschnitt kreisförmig ausgebildet ist bzw. der kreiszylindrisch ausgebildet ist. Der Pumpraum 18 ist durch eine kreiszylindrische Innenwand 20 begrenzt, die beispielsweise durch eine Bohrung im Gehäusekörper 12 hergestellt wurde.

[0022] Im Pumpraum 18 ist ein Rotor 22 angeordnet und zur Rotation gemäß einem Pfeil 24 durch einen nicht dargestellten Motor angetrieben. Die Drehachse des Rotors 22 ist gegenüber der Mittelachse der kreiszylindrischen Bohrung, also des Pumpraums 18, versetzt. Der Rotor 22 ist also exzentrisch im Pumpraum 18 angeordnet. Der Rotor 22 umfasst zwei Schieber 26, die im Rotor 22 verschieblich geführt sind und durch eine Feder 28 nach außen hin vorgespannt sind. Hierdurch werden die Schieber 26 jeweils mit der Innenwand 20 während der Rotation des Rotors 22 in Anlage gehalten. Durch Rotation des Rotors 22 zusammen mit den Schiebern 26 werden wiederholt abgeschlossene Fördervolumina vom Einlass 14 zum Auslass 16 gefördert.

[0023] In Fig. 2 ist ein Gehäusekörper 12 mit einem erfindungsgemäß ausgebildeten Pumpraum 18 im Querschnitt gezeigt. Der Pumpraum 18 bzw. sein Querschnitt umfasst einen ersten Umfangsbereich 30, der teilkreisförmig ausgebildet ist. Die Fortsetzung seiner Kreisform ist gestrichelt angedeutet. Der Pumpraum 18 umfasst außerdem einen zweiten Umfangsbereich 32, der hier ebenfalls teilkreisförmig ausgebildet ist und der eine Ausbuchtung des Pumpraums 18 bildet. Der Querschnitt des Pumpraums 18 ist also im Wesentlichen durch zwei übereinandergelegte aber zueinander radial versetzte Kreise gebildet.

[0024] Ein Durchmesser 34 des den ersten Umfangsbereich 30 definierenden Kreises, der teilweise gestrichelt dargestellt ist, ist in Fig. 1 angedeutet. Außerdem ist eine Breite 36 des Pumpraums 18 angedeutet, die insbesondere eine horizontale und/oder maximale Breite ist. Die Breite 36 ist größer als der Durchmesser 34. Die teilkreisförmigen Umfangsbereiche 30 und 32 sind horizontal versetzt angeordnet und ausgebildet. Die Differenz zwischen der Breite 36 und dem Durchmesser 34 entspricht dem Versatz, wenn die Durchmesser bzw. Radien der teilkreisförmigen Umfangsbereiche 30 und 32 zumindest im Wesentlichen gleich groß sind. In dieser Ausführungsform entspricht die höchste Abweichung von der Kreisform des ersten Umfangsbereich 30 der Differenz zwischen der Breite 36 und dem Durchmesser 34 bzw. dem Versatz der teilkreisförmigen Umfangsbereiche 30, 32.

[0025] Der zweite teilkreisförmige Umfangsbereich 32 bzw. die Ausbuchtung ist einlassseitig angeordnet und der Einlass 14 mündet in diesen Umfangsbereich 32 bzw. in die Ausbuchtung. Das am Einlass 14 anstehende Gas kann somit vorteilhaft in den Pumpraum 18 einströmen, sodass das Saugvermögen der Pumpe im Vergleich zu einem rein kreisförmigen Pumpraum deutlich vergrößert ist.

[0026] Die teilkreisförmigen Umfangsbereiche 30 und 32 können beispielsweise durch zwei radial versetzte Bohrungen ausgebildet werden. Alternativ kann etwa einer der Umfangsbereiche 30, 32 durch eine Bohrung hergestellt werden und der andere Umfangsbereich durch Fräsen oder Drehen. Grundsätzlich kann beispielsweise der zweite Umfangsbereich auch eine andere Form aufweisen, z.B. oval ausgebildet sein.

[0027] Vakuumtechnisch ist eine Ausbuchtung des Zylinders, in Fig. 2 also der den Umfangsbereich 30 bildenden, zuerst eingebrachten Bohrung, auf der Einlass- bzw. Ansaugseite - wie in Fig. 2 gezeigt - vorteilhaft, da ein größeres Ansaugvolumen realisiert werden kann. In durchgeführten Versuchen konnte beispielsweise durch zwei parallel angeordnete, radial versetzte Bohrungen mit einem Versatz von 2,5 mm bei Bohrungsdurchmessern von jeweils 35,5 mm eine Saugvermögenssteigerung um 20 % realisiert werden. In diesem Versuch wurde der radiale Abstand von 2,5 mm zwischen den beiden Bohrungs-Außenkonturen nicht gesondert nachgearbeitet. Es entstehen nur Unebenheiten im Bereich weniger Hundertstelmillimeter auf diesem, insbesondere sehr kurzen, Übergang zwischen zwei Bogensegmenten mit relativ großen Durchmessern. Eine beliebig komplexere Ausführung der "Unrundheit" ist möglich.

[0028] Die Ausbuchtung ist nur in einer ersten, ansaugseitigen von mehreren Stufen der Drehschiebervakuumpumpe vorgesehen. Weitere Stufen werden insbesondere nicht "überfüllig/verstopft" betrieben. Der Übergabedruck zwischen zwei Stufen steigt entsprechend. Die erste Stufe oder Ansaugstufe bestimmt überwiegend das Saugvermögen des Gesamtsystems.

Bezugszeichenliste

[0029] 

10

Drehschiebervakuumpumpe

12

Gehäusekörper

14

Einlass

16

Auslass

18

Pumpraum

20

Innenwand

22

Rotor

24

Pfeil/Drehrichtung

26

Schieber

28

Feder

30

erster Umfangsbereich

32

zweiter Umfangsbereich

34

Durchmesser

36

Breite

Ansprüche

1. Drehschiebervakuumpumpe (10) umfassend

einen Rotor (22) mit wenigstens einem Schieber (26) und

einen Pumpraum (18), in dem der Rotor (22) angeordnet ist, wobei der Rotor (22) mit dem Schieber (26) zu einer Rotation antreibbar ist, um ein zu förderndes Gas von einem Einlass (14) zu einem Auslass (16) des Pumpraums (18) zu fördern,

wobei der Pumpraum (18) im Querschnitt von einer Kreisform abweicht,

dadurch gekennzeichnet,

dass die Drehschiebervakuumpumpe (10) mehrstufig ausgebildet ist und wobei lediglich eine in Förderrichtung erste Stufe einen Pumpraum (18) mit von einer Kreisform abweichendem Querschnitt aufweist.

2. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach Anspruch 1,
wobei der Querschnitt durch eine Ausbuchtung von der Kreisform abweicht.

3. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach Anspruch 1 oder 2,
wobei der Querschnitt einen teilkreisförmigen, ersten Umfangsbereich (30) und einen von der Kreisform des ersten abweichenden, zweiten Umfangsbereich (32) aufweist.

4. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei der Querschnitt einen teilkreisförmigen, ersten Umfangsbereich (30) und einen teilkreisförmigen, zweiten Umfangsbereich (32) aufweist, der zu dem ersten radial versetzt angeordnet ist.

5. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach Anspruch 4,
wobei beide Umfangsbereiche (30, 32) einen Radius aufweisen und wobei der Versatz ein Größenverhältnis zum Radius zumindest eines der Umfangsbereiche von wenigstens 0,1 und höchstens 0,3 aufweist.

6. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die Abweichung einlassseitig angeordnet ist.

7. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 6,
wobei die Ausbuchtung und/oder der zweite Umfangsbereich einlassseitig angeordnet ist.

8. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei der Einlass des Pumpraums in die Abweichung, die Ausbuchtung und/oder den zweiten Umfangsbereich (32) mündet.

9. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei der Querschnitt einen teilkreisförmigen Umfangsbereich (30) aufweist und von der Kreisform des teilkreisförmigen Umgangsbereichs (30) um wenigstens 2 mm und höchstens 6 mm abweicht.

10. Drehschiebervakuumpumpe (10) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei der Rotor (22) wenigstens zwei separat voneinander gebildete Schieber (26) aufweist, die entgegengesetzt zueinander angeordnet sind.

11. Verfahren zum Herstellen einer Drehschiebervakuumpumpe (10) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, wobei ein Herstellen des Pumpraums (18) umfasst, dass eine Bohrung in einen Gehäusekörper (12) für den Pumpraum (18) eingebracht wird und dass der Pumpraum (18) ausgehend von der Bohrung in einer radialen Richtung spanend erweitert wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11,
wobei das Erweitern umfasst, dass eine zweite Bohrung radial versetzt zur ersten Bohrung in den Gehäusekörper (12) eingebracht wird und wobei der Versatz wenigstens 1 mm und höchstens 10 mm beträgt.

13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12,
wobei das Erweitern umfasst, dass eine zweite Bohrung radial versetzt zur ersten Bohrung in den Gehäusekörper (12) eingebracht wird und wobei die Bohrungen jeweils einen Durchmesser (34) aufweisen, die um höchstens 5 mm voneinander abweichen.

Claims

1. A rotary vane vacuum pump (10) comprising

a rotor (22) having at least one slider (26); and

a pump space (18) in which the rotor (22) is arranged, wherein the rotor (22) with the slider (26) can be driven to make a rotation in order to convey a gas to be conveyed from an inlet (14) to an outlet (16) of the pump space (18),

wherein the pump space (18) deviates in cross-section from a circular shape,

characterized in that

the rotary vane vacuum pump (10) is of multi-stage design, and with only a first stage in the conveying direction having a pump space (18) with a cross-section which deviates from a circular shape.

2. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with claim 1,
wherein the cross-section deviates from the circular shape by a bulge.

3. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with claim 1 or claim 2,
wherein the cross-section has a part-circular first peripheral region (30) and a second peripheral region (32) which deviates from the circular shape of the first peripheral region.

4. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with at least one of the preceding claims,
wherein the cross-section has a part-circular first peripheral region (30) and a part-circular second peripheral region (32) which is arranged radially offset from the first peripheral region.

5. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with claim 4,
wherein both peripheral regions (30, 32) have a radius, and wherein the offset has a size ratio to the radius of at least one of the peripheral regions of at least 0.1 and at most 0.3.

6. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with at least one of the preceding claims,
wherein the deviation is arranged at the inlet side.

7. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with at least one of the claims 2 to 6,
wherein the bulge and/or the second peripheral region is/are arranged at the inlet side.

8. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with at least one of the preceding claims,
wherein the inlet of the pump space opens into the deviation, the bulge and/or the second peripheral region (32).

9. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with at least one of the preceding claims,
wherein the cross-section has a part-circular peripheral region (30) and deviates from the circular shape of the part-circular peripheral region (30) by at least 2 mm and at most 6 mm.

10. A rotary vane vacuum pump (10) in accordance with at least one of the preceding claims,
wherein the rotor (22) has at least two sliders (26) which are formed separately from one another and which are arranged opposite one another.

11. A method of manufacturing a rotary vane vacuum pump (10) in accordance with at least one of the preceding claims, wherein a manufacture of the pump space (18) comprises forming a bore in a housing body (12) for the pump space (18) and widening the pump space (18) in a cutting manner in a radial direction starting from the bore.

12. A method in accordance with claim 11,
wherein the widening comprises forming a second bore in the housing body (12) radially offset from the first bore, and wherein the offset amounts to at least 1 mm and at most 10 mm.

13. A method in accordance with claim 11 or claim 12,
wherein the widening comprises forming a second bore in the housing body (12) radially offset from the first bore, and wherein the bores each have a diameter (34), said diameters (34) differing from one another by at most 5 mm.

Revendications

1. Pompe à vide rotative à palettes (10) comprenant

un rotor (22) pourvu d'au moins une palette (26), et

une chambre de pompage (18) dans laquelle est disposé le rotor (22), le rotor (22) pourvu de la palette (26) pouvant être entraîné en rotation afin de transporter un gaz à transporter depuis une entrée (14) jusqu'à une sortie (16) de la chambre de pompage (18),

la chambre de pompage (18) s'écartant en section transversale d'une forme circulaire,

caractérisée en ce que

la pompe à vide rotative à palettes (10) est réalisée en plusieurs étages, et seul un premier étage en direction de transport présente une chambre de pompage (18) dont la section transversale s'écarte d'une forme circulaire.

2. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon la revendication 1,
dans laquelle la section transversale s'écarte de la forme circulaire par un renflement.

3. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon la revendication 1 ou 2,
dans laquelle la section transversale présente une première zone périphérique (30) de forme partiellement circulaire et une deuxième zone périphérique (32) s'écartant de la forme circulaire de ladite première zone.

4. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon l'une au moins des revendications précédentes,
dans laquelle la section transversale présente une première zone périphérique (30) de forme partiellement circulaire et une deuxième zone périphérique (32) de forme partiellement circulaire qui est disposée en étant décalée radialement par rapport à ladite première zone.

5. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon la revendication 4,
dans laquelle les deux zones périphériques (30, 32) présentent un rayon, et le décalage présente un rapport proportionnel sur le rayon de l'une au moins des zones périphériques qui est de 0,1 au minimum et de 0,3 au maximum.

6. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon l'une au moins des revendications précédentes,
dans laquelle l'écart est disposé du côté entrée.

7. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon l'une au moins des revendications 2 à 6,
dans laquelle le renflement et/ou la deuxième zone périphérique est disposé(e) du côté entrée.

8. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon l'une au moins des revendications précédentes,
dans laquelle l'entrée de la chambre de pompage débouche dans l'écart, dans le renflement et/ou dans la deuxième zone périphérique (32).

9. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon l'une au moins des revendications précédentes,
dans laquelle la section transversale présente une zone périphérique (30) de forme partiellement circulaire et s'écarte de la forme circulaire de la zone périphérique (30) de forme partiellement circulaire de 2 mm au minimum et de 6 mm au maximum.

10. Pompe à vide rotative à palettes (10) selon l'une au moins des revendications précédentes,
dans laquelle le rotor (22) comporte au moins deux palettes (26) formées séparément l'une de l'autre et disposées à l'opposé l'une de l'autre.

11. Procédé de fabrication d'une pompe à vide rotative à palettes (10) selon l'une au moins des revendications précédentes,
dans lequel
une fabrication de la chambre de pompage (18) consiste à réaliser un alésage dans un corps de boîtier (12) pour la chambre de pompage (18) et à élargir la chambre de pompage (18) à partir de l'alésage par enlèvement de copeaux dans une direction radiale.

12. Procédé selon la revendication 11,
dans lequel l'élargissement consiste à réaliser un deuxième alésage dans le corps de boîtier (12) de manière décalée radialement par rapport au premier alésage, le décalage étant de 1 mm au minimum et de 10 mm au maximum.

13. Procédé selon la revendication 11 ou 12,
dans lequel l'élargissement consiste à réaliser un deuxième alésage dans le corps de boîtier (12) de manière décalée radialement par rapport au premier alésage, les alésages présentant chacun un diamètre (34) s'écartant l'un de l'autre de 5 mm au maximum.

Zeichnung