(19)
(11) EP 3 621 937 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.03.2020  Patentblatt  2020/12

(21) Anmeldenummer: 18723506.4

(22) Anmeldetag:  09.05.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C04B 35/565(2006.01)
B33Y 70/00(2020.01)
C04B 35/571(2006.01)
B29C 64/135(2017.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/062004
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/206643 (15.11.2018 Gazette  2018/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 12.05.2017 DE 102017110361

(71) Anmelder: PSC Technologies GmbH
12489 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • GREULICH-WEBER, Prof. Dr. Siegmund
    33175 Bad Lippspringe (DE)
  • SCHLEICHER-TAPPESER, Rüdiger
    10779 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Von Rohr Patentanwälte Partnerschaft mbB 
Rüttenscheider Straße 62
45130 Essen
45130 Essen (DE)

   


(54) VERFAHREN, ZUSAMMENSETZUNG UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMCARBIDHALTIGEN STRUKTUREN