(19)
(11) EP 3 622 274 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.03.2020  Patentblatt  2020/12

(21) Anmeldenummer: 18732629.3

(22) Anmeldetag:  11.05.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/65(2006.01)
C23C 14/06(2006.01)
B82Y 15/00(2011.01)
 C23C 14/00(2006.01)
B82Y 40/00(2011.01)
C23C 14/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/AT2018/060091
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/204963 (15.11.2018 Gazette  2018/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 11.05.2017 AT 1952017

(71) Anmelder: Technische Universität Wien
1040 Wien (AT)

(72) Erfinder:
  • MÜLLER, Danny
    1080 Wien (AT)
  • KNOLL, Christian
    1100 Wien (AT)
  • WEINBERGER, Peter
    3422 Altenberg (AT)
  • OFNER, Johannes
    3430 Tulln (AT)
  • BITTNER, Roland
    1050 Wien (AT)
  • LENDL, Bernhard
    1160 Wien (AT)
  • HOFFMANN, Helmuth
    1030 Wien (AT)

(74) Vertreter: Ellmeyer, Wolfgang 
Häupl & Ellmeyer KG Patentanwaltskanzlei Mariahilfer Strasse 50
1070 Wien
1070 Wien (AT)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EDELMETALLMODIFIZIERTER SILICIUM-NANOWIRES