(19)

(11)

EP 3 622 554 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.03.2020  Patentblatt  2020/12 (21) Anmeldenummer: 18717630.0 (22) Anmeldetag:  20.04.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/60(2006.01) H05K 3/32(2006.01) B22F 1/00(2006.01) H01L 21/48(2006.01) B22F 7/04(2006.01) B23K 35/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/060155 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2018/206267 (15.11.2018 Gazette  2018/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 12.05.2017 EP 17170737 (71) Anmelder: Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG 63450 Hanau (DE)	(72) Erfinder: SCHMITT, Wolfgang 63110 Rodgau (DE) SCHÄFER, Michael 36093 Künzell (DE) DUCH, Susanne Klaudia 63486 Bruchköbel (DE) NACHREINER, Jens 36381 Schlüchtern (DE) CHEW, Ly May 63486 Bruchköbel (DE) (74) Vertreter: Heraeus IP  Heraeus Holding GmbH Intellectual Property Heraeusstraße 12-14 63450 Hanau 63450 Hanau (DE)