| (19) |
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(11) |
EP 3 629 366 A3 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
| (88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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02.09.2020 Patentblatt 2020/36 |
| (43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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01.04.2020 Patentblatt 2020/14 |
| (22) |
Anmeldetag: 17.01.2020 |
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| (51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC):
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (71) |
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG |
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35614 Asslar (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Schweighöfer, Michael
35641 Schöffengrund (DE)
- Hofmann, Jan
35305 Grünberg (DE)
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| (74) |
Vertreter: Manitz Finsterwald
Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB |
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Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE) |
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| (54) |
VAKUUMSYSTEM UND VAKUUMPUMPE |
(57) Vakuumsystem (20), insbesondere Massenspektrometriesystem, umfassend: eine Vakuumpumpe
(22) mit einem pumpaktiven Bereich (34), in dem ein Gas mittels eines aktiven Pumpelements
(36) förderbar ist, eine Einrichtung zum Erzeugen eines Strahls (26, 32) von zu analysierenden
Teilchen, wobei der Strahl (26, 32) in den pumpaktiven Bereich (34) geführt ist.