(19)

(11)

EP 3 634 922 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.04.2020  Patentblatt  2020/16 (21) Anmeldenummer: 18730683.2 (22) Anmeldetag:  04.06.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C04B 41/87(2006.01) C04B 35/622(2006.01) C30B 29/36(2006.01) C04B 35/565(2006.01) C30B 1/02(2006.01) H01L 21/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/064621 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2018/224438 (13.12.2018 Gazette  2018/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 09.06.2017 DE 102017112756 (71) Anmelder: PSC Technologies GmbH 12489 Berlin (DE)	(72) Erfinder: GREULICH-WEBER, Siegmund 33175 Bad Lippspringe (DE) SCHLEICHER-TAPPESER, Rüdiger 10779 Berlin (DE) (74) Vertreter: Freiherr von Foullon, Alexander  Von Rohr Patentanwälte Partnerschaft mbB Rüttenscheider Straße 62 DE-45130 Essen DE-45130 Essen (DE)