(19)

(11)

EP 3 649 280 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.05.2020  Patentblatt  2020/20 (21) Anmeldenummer: 18737872.4 (22) Anmeldetag:  03.07.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C25D 7/00(2006.01) C23C 18/16(2006.01) H05B 6/10(2006.01) C25D 7/06(2006.01) H01F 5/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/067947 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/007956 (10.01.2019 Gazette  2019/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 07.07.2017 DE 202017104061 U (71) Anmelder: AIXTRON SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: FUSS, Hans-Gerd 52134 Herzogenrath (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Corneliusstrasse 45 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)