(19)
(11) EP 3 658 697 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.06.2020  Patentblatt  2020/23

(21) Anmeldenummer: 18739878.9

(22) Anmeldetag:  19.07.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/00(2006.01)
C23C 14/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/069609
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/020481 (31.01.2019 Gazette  2019/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 26.07.2017 EP 17183187

(71) Anmelder: Saint-Gobain Glass France
92400 Courbevoie (FR)

(72) Erfinder:
  • HAGEN, Jan
    53123 Bonn (DE)
  • HUHN, Norbert
    52134 Herzogenrath (DE)
  • LINGNER, Julian
    52134 Herzogenrath (DE)

(74) Vertreter: Gebauer, Dieter Edmund 
Splanemann Patentanwälte Partnerschaft Rumfordstraße 7
80469 München
80469 München (DE)

   


(54) BESCHICHTUNG MIT DIAMANTÄHNLICHEM KOHLENSTOFF ÜBER EIN PECVD-MAGNETRON-VERFAHREN