(19)
(11) EP 3 659 173 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.06.2020  Patentblatt  2020/23

(21) Anmeldenummer: 18740798.6

(22) Anmeldetag:  12.07.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
C23C 16/46(2006.01)
 C30B 25/10(2006.01)
C23C 16/48(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/068888
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/020387 (31.01.2019 Gazette  2019/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 26.07.2017 DE 102017212799

(71) Anmelder: Siltronic AG
81737 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHAUER, Reinhard
    83410 Laufen (DE)
  • HABERECHT, Jörg
    09599 Freiberg (DE)

(74) Vertreter: Staudacher, Wolfgang 
Siltronic AG Intellectual Property -LP 244 Johannes-Hess-Str. 24
84489 Burghausen
84489 Burghausen (DE)

   


(54) EPITAKTISCH BESCHICHTETE HALBLEITERSCHEIBE AUS EINKRISTALLINEM SILIZIUM UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG