(19)
(11)
EP 3 662 273 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
10.06.2020
Patentblatt 2020/24
(21)
Anmeldenummer:
18740835.6
(22)
Anmeldetag:
16.07.2018
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G01N
25/72
(2006.01)
G01B
11/06
(2006.01)
G01B
21/08
(2006.01)
G01N
33/32
(2006.01)
G01B
21/02
(2006.01)
G01B
11/02
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/069222
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/025169
(
07.02.2019
Gazette 2019/06)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN
(30)
Priorität:
01.08.2017
DE 102017117398
(71)
Anmelder:
Dürr Systems AG
74321 Bietigheim-Bissingen (DE)
(72)
Erfinder:
ULLMANN, Marc
70469 Stuttgart (DE)
(74)
Vertreter:
v. Bezold & Partner Patentanwälte - PartG mbB
Akademiestraße 7
80799 München
80799 München (DE)
(54)
PRÜFVERFAHREN UND PRÜFEINRICHTUNG ZUM PRÜFEN EINER OBERFLÄCHENSCHICHT