(19)
(11) EP 3 662 273 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.06.2020  Patentblatt  2020/24

(21) Anmeldenummer: 18740835.6

(22) Anmeldetag:  16.07.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 25/72(2006.01)
G01B 11/06(2006.01)
G01B 21/08(2006.01)
G01N 33/32(2006.01)
G01B 21/02(2006.01)
G01B 11/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/069222
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/025169 (07.02.2019 Gazette  2019/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 01.08.2017 DE 102017117398

(71) Anmelder: Dürr Systems AG
74321 Bietigheim-Bissingen (DE)

(72) Erfinder:
  • ULLMANN, Marc
    70469 Stuttgart (DE)

(74) Vertreter: v. Bezold & Partner Patentanwälte - PartG mbB 
Akademiestraße 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) PRÜFVERFAHREN UND PRÜFEINRICHTUNG ZUM PRÜFEN EINER OBERFLÄCHENSCHICHT