(19)
(11) EP 3 662 504 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.06.2020  Patentblatt  2020/24

(21) Anmeldenummer: 18743014.5

(22) Anmeldetag:  19.07.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
C30B 15/04(2006.01)
H01L 21/322(2006.01)
 C30B 15/02(2006.01)
C30B 15/20(2006.01)
C30B 33/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/069584
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/025197 (07.02.2019 Gazette  2019/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 04.08.2017 DE 102017213587

(71) Anmelder: Siltronic AG
81737 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SATTLER, Andreas
    83308 Trostberg (DE)
  • VOLLKOPF, Alexander
    84489 Burghausen (DE)
  • MANGELBERGER, Karl
    5122 Ach (AT)

(74) Vertreter: Staudacher, Wolfgang 
Siltronic AG Intellectual Property -LP 244 Johannes-Hess-Str. 24
84489 Burghausen
84489 Burghausen (DE)

   


(54) HALBLEITERSCHEIBE AUS EINKRISTALLINEM SILIZIUM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER HALBLEITERSCHEIBE