(19)
(11) EP 3 664 952 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.06.2020  Patentblatt  2020/25

(21) Anmeldenummer: 18765357.1

(22) Anmeldetag:  10.08.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B23K 26/00(2014.01)
B23K 26/0622(2014.01)
B23K 26/70(2014.01)
B23K 26/146(2014.01)
H01L 21/78(2006.01)
 B23K 26/53(2014.01)
B28D 5/00(2006.01)
B23K 26/14(2014.01)
H01L 21/304(2006.01)
B23K 103/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/071814
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/030400 (14.02.2019 Gazette  2019/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 11.08.2017 DE 102017007585

(71) Anmelder: Siltectra GmbH
01099 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • SWOBODA, Marko
    01097 Dresden (DE)
  • RIESKE, Ralf
    01099 Dresden (DE)
  • BEYER, Christian
    Freiberg 09599 (DE)
  • RICHTER, Jan
    01277 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Müller Hoffmann & Partner 
Patentanwälte mbB St.-Martin-Strasse 58
81541 München
81541 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEAUFSCHLAGEN VON SPANNUNGSERZEUGUNGSSCHICHTEN MIT DRUCK ZUM VERBESSERTEN FÜHREN EINES ABTRENNRISSES