(19)
(11) EP 3 682 470 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.07.2020  Patentblatt  2020/30

(21) Anmeldenummer: 17765181.7

(22) Anmeldetag:  12.09.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/683(2006.01)
B23K 26/70(2014.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/072869
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/052634 (21.03.2019 Gazette  2019/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder:
  • BRANDL, Elisabeth
    4782 St. Florian am Inn (AT)
  • POVAZAY, Boris
    1220 Wien (AT)
  • UHRMANN, Thomas
    94136 Thyrnau (DE)

(74) Vertreter: Schneider, Sascha et al
Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TRENNEN EINES TEMPORÄR GEBONDETEN SUBSTRATSTAPELS