(19)
(11) EP 3 688 394 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.08.2020  Patentblatt  2020/32

(21) Anmeldenummer: 18799591.5

(22) Anmeldetag:  25.09.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F27B 17/00(2006.01)
F27D 21/00(2006.01)
H04M 3/08(2006.01)
G01R 31/02(2006.01)
 G01R 31/28(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
H05B 3/14(2006.01)
F27D 19/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/IB2018/057414
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/058358 (28.03.2019 Gazette  2019/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 25.09.2017 DE 102017122205
18.01.2018 DE 102018101010

(71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries GmbH
99097 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • GRUBER, Sven
    01689 Weinboehla (DE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund 
Leonhard & Partner Patentanwälte Tal 30
80331 München
80331 München (DE)

   


(54) ECHTZEIT MONITORING EINES MEHRZONEN-VERTIKALOFENS MIT FRUEHZEITIGER ERKENNUNG EINES AUSFALLS EINES HEIZZONEN-ELEMENTS