(19)

(11)

EP 3 695 275 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.08.2020  Patentblatt  2020/34 (21) Anmeldenummer: 18782978.3 (22) Anmeldetag:  05.10.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/09(2006.01) G03F 7/20(2006.01) G03F 7/095(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/077096 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/072701 (18.04.2019 Gazette  2019/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 10.10.2017 EP 17195719 (71) Anmelder: Flint Group Germany GmbH 70469 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: BEYER, Matthias 69469 Weinheim (DE) BECKER, Armin 67259 Großniedesheim (DE) (74) Vertreter: Arnold & Siedsma  Bezuidenhoutseweg 57 2594 AC The Hague 2594 AC The Hague (NL)