(19)
(11) EP 3 697 726 A1

(12)

(43) Date de publication:
26.08.2020  Bulletin  2020/35

(21) Numéro de dépôt: 18785619.0

(22) Date de dépôt:  12.10.2018
(51) Int. Cl.: 
B81C 1/00(2006.01)
G04B 13/00(2006.01)
G04D 3/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2018/077842
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2019/076742 (25.04.2019 Gazette  2019/17)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 20.10.2017 FR 1759879

(71) Demandeur: Tronic's Microsystems
38920 Crolles (FR)

(72) Inventeurs:
  • RIBETTO, Luca
    38500 Voiron (FR)
  • PETIT, Matthieu
    38920 Crolles (FR)
  • COLLET, Joël
    38410 Saint Martin D'Uriage (FR)

(74) Mandataire: Cabinet Laurent & Charras 
Le Contemporain 50 Chemin de la Bruyère
69574 Dardilly Cedex
69574 Dardilly Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE PIECE MICROMECANIQUE EN SILICIUM