(19)
(11) EP 3 697 941 A1

(12)

(43) Date de publication:
26.08.2020  Bulletin  2020/35

(21) Numéro de dépôt: 18786363.4

(22) Date de dépôt:  22.10.2018
(51) Int. Cl.: 
C23C 14/48(2006.01)
C23C 14/06(2006.01)
C23C 14/02(2006.01)
H01L 29/24(2006.01)
H01L 21/3115(2006.01)
 C23C 14/58(2006.01)
C23C 14/00(2006.01)
H01L 29/66(2006.01)
H01L 21/02(2006.01)
H01J 37/317(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2018/078840
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2019/077158 (25.04.2019 Gazette  2019/17)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 20.10.2017 FR 1701097

(71) Demandeurs:
  • Thales
    92400 Courbevoie (FR)
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS -
    75794 Paris Cedex 16 (FR)
  • ECOLE POLYTECHNIQUE PARIS TECH
    91128 Palaiseau (FR)

(72) Inventeurs:
  • LEGAGNEUX, Pierre
    91767 Palaiseau (FR)
  • PRIBAT, Didier
    91128 Palaiseau Cedex (FR)
  • COJOCARU, Costel-Sorin
    91128 Palaiseau Cedex (FR)
  • SERVET, Bernard
    91767 Palaiseau (FR)

(74) Mandataire: Joubert, Cécile et al
Marks & Clerk France Counseils en Propriete Industrielle Immeuble "Visium" 22, avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cedex
94117 Arcueil Cedex (FR)

   


(54) MÉTHODE DE SYNTHÈSE D'UN MATÉRIAU BIDIMENSIONNEL BN