(19)

(11)

EP 3 701 559 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.09.2020  Patentblatt  2020/36 (21) Anmeldenummer: 18793404.7 (22) Anmeldetag:  25.10.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/02(2006.01) C23C 16/54(2006.01) C23C 16/455(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/079228 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/081618 (02.05.2019 Gazette  2019/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 27.10.2017 DE 102017125232 (71) Anmelder: Nexwafe GmbH 79108 Freiburg (DE)	(72) Erfinder: REBER, Stefan 79194 Gundelfingen (DE) SCHILLINGER, Kai 79106 Freiburg (DE) (74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner Patentanwälte Partnerschaft mbB  Siegfried-Kühn-Straße 4 76135 Karlsruhe 76135 Karlsruhe (DE)