(19)
(11) EP 3 724 913 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.10.2020  Patentblatt  2020/43

(21) Anmeldenummer: 18827013.6

(22) Anmeldetag:  14.12.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 49/48(2006.01)
H01J 49/06(2006.01)
H01J 49/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/084995
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/115784 (20.06.2019 Gazette  2019/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 15.12.2017 DE 102017130072

(71) Anmelder: Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V.
01069 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • BORISENKO, Sergey
    01069 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Rauschenbach, Marion 
Rauschenbach Patentanwälte Bienertstrasse 15
01187 Dresden
01187 Dresden (DE)

   


(54) IMPULSAUFLÖSENDES PHOTOELEKTRONENSPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUR IMPULSAUFLÖSENDEN PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE