(19)
(11) EP 3 729 485 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.10.2020  Patentblatt  2020/44

(21) Anmeldenummer: 18826543.3

(22) Anmeldetag:  12.12.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/305(2006.01)
H01J 37/317(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/084638
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/121268 (27.06.2019 Gazette  2019/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 20.12.2017 DE 102017130797

(71) Anmelder: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.
04318 Leipzig (DE)

(72) Erfinder:
  • FROST, Frank
    04824 Beucha (DE)
  • NICKEL, Andreas
    04442 Zwenkau (DE)
  • GÖRSCH, Stephan
    04299 Leipzig (DE)
  • ALVERMANN, Christian
    04329 Leipzig (DE)

(74) Vertreter: Hecht, Jan-David 
Patentanwaltskanzlei Dr. Hecht Ranstädter Steinweg 28
04109 Leipzig
04109 Leipzig (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES GEWÜNSCHTEN ROTATIONSSYMMETRISCHEN OBERFLÄCHENPROFILS