(19)

(11)

EP 3 729 491 A1

(12)

(43) Date de publication: 28.10.2020  Bulletin  2020/44 (21) Numéro de dépôt: 18827109.2 (22) Date de dépôt:  21.12.2018

(51) Int. Cl.:  H01L 21/027(2006.01) B81C 1/00(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2018/086594 (87) Numéro de publication internationale: WO 2019/122334 (27.06.2019 Gazette  2019/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 21.12.2017 FR 1762874 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: TIRON, Raluca 38950 Saint-Martin-le-Vinoux (FR) DELACHAT, Florian 38000 Grenoble (FR) GHARBI, Ahmed 38000 Grenoble (FR) CHEVALIER, Xavier 38100 Grenoble (FR) NAVARRO, Christophe 64100 Bayonne (FR) PAQUET, Anne 74940 Annecy-le-Vieux (FR) (74) Mandataire: Cabinet Camus Lebkiri  25 rue de Maubeuge 75009 Paris 75009 Paris (FR)