(19)
(11) EP 3 734 078 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.12.2020  Patentblatt  2020/52

(43) Veröffentlichungstag A2:
04.11.2020  Patentblatt  2020/45

(21) Anmeldenummer: 20161194.4

(22) Anmeldetag:  05.03.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
F04D 29/54(2006.01)
 F04D 29/02(2006.01)
F04D 29/64(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Hofmann, Bernd
    35578 Wetzlar (DE)
  • Hofmann, Jan
    35305 Grünberg (DE)
  • Mekota, Mirko
    35630 Ehringshausen (DE)
  • Schweighöfer, Michael
    35641 Schöffengrund (DE)
  • Bader, Florian
    35625 Hüttenberg (DE)

(74) Vertreter: Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) TURBOMOLEKULARPUMPE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STATORSCHEIBE FÜR EINE SOLCHE


(57) Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe umfassend: einen Rotor mit einer Mehrzahl von über seinen Umfang verteilt angeordneten Rotorschaufeln, der zu einer Rotation um eine Rotationsachse antreibbar ist, um eine Pumpwirkung zu erzeugen, und wenigstens eine Statorscheibe, welche eine Mehrzahl von über ihren Umfang verteilt angeordneten Statorschaufeln aufweist und mit welcher der Rotor zur Erzeugung der Pumpwirkung zusammenwirkt; wobei die Statorschaufeln der Statorscheibe in Bezug auf eine Scheibenebene, welche senkrecht zur Rotationsachse des Rotors verläuft, schräg ausgerichtet sind, wobei die Statorscheibe aus Blech herstellt ist, und wobei wenigstens eine Statorschaufel an einem axialen Ende eine Abplattung aufweist.










Recherchenbericht















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