(19)
(11) EP 3 737 645 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.11.2020  Patentblatt  2020/47

(21) Anmeldenummer: 19700652.1

(22) Anmeldetag:  09.01.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 32/956(2017.01)
C30B 29/36(2006.01)
C30B 29/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/050408
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/137942 (18.07.2019 Gazette  2019/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 12.01.2018 DE 102018100679

(71) Anmelder: Universität Paderborn
33098 Paderborn (DE)

(72) Erfinder:
  • FRIEDEL, Bettina
    6850 Dornbirn (AT)

(74) Vertreter: Michalski Hüttermann & Partner Patentanwälte mbB 
Speditionstraße 21
40221 Düsseldorf
40221 Düsseldorf (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON SILIZIUMCARBID