(19)

(11)

EP 3 738 138 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.11.2020  Patentblatt  2020/47 (21) Anmeldenummer: 18826231.5 (22) Anmeldetag:  12.12.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/20(2006.01) C30B 29/06(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/084620 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/137728 (18.07.2019 Gazette  2019/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 11.01.2018 DE 102018200415 (71) Anmelder: Siltronic AG 81737 München (DE)	(72) Erfinder: WERNER, Norbert 83373 Tengling (DE) HAGER, Christian 84556 Kastl (DE) (74) Vertreter: Staudacher, Wolfgang  Siltronic AG Intellectual Property -LP 244 Johannes-Hess-Str. 24 84489 Burghausen 84489 Burghausen (DE)