(19)
(11) EP 3 740 963 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.11.2020  Patentblatt  2020/48

(21) Anmeldenummer: 18830383.8

(22) Anmeldetag:  21.12.2018
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
H05H 1/46(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2018/000582
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/141337 (25.07.2019 Gazette  2019/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 19.01.2018 DE 102018000401

(71) Anmelder: Spitzl, Ralf
53842 Troisdorf (DE)

(72) Erfinder:
  • Spitzl, Ralf
    53842 Troisdorf (DE)

(74) Vertreter: Flaccus, Rolf-Dieter 
Flaccus · Müller-Wolff Patentanwälte Bussardweg 10
50389 Wesseling
50389 Wesseling (DE)

   


(54) MIKROWELLENPLASMAVORRICHTUNG