(19)

(11)

EP 3 743 940 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.12.2020  Bulletin  2020/49 (21) Numéro de dépôt: 19717523.5 (22) Date de dépôt:  01.03.2019

(51) Int. Cl.:  H01L 21/60(2006.01) H01L 21/027(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2019/050468 (87) Numéro de publication internationale: WO 2019/170987 (12.09.2019 Gazette  2019/37)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 09.03.2018 FR 1852069 (71) Demandeur: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: GARNIER, Arnaud 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) CASTAGNE, Laetitia 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) DE LUCA, Anthony 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) MERMIN, Daniel 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) MONTMEAT, Pierre 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) (74) Mandataire: Brevalex  95, rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)