(19)

(11)

EP 3 762 976 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.01.2021  Patentblatt  2021/02 (21) Anmeldenummer: 18711259.4 (22) Anmeldetag:  07.03.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 33/38(2010.01) H01L 27/15(2006.01) H01L 33/20(2010.01) H01L 25/075(2006.01) H01L 33/62(2010.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/055599 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/170226 (12.09.2019 Gazette  2019/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: Photonik Inkubator GmbH 37077 Göttingen (DE) Technische Universität Braunschweig 38106 Braunschweig (DE)	(72) Erfinder: FÜNDLING, Sönke 38116 Braunschweig (DE) STEIB, Frederik 38442 Wolfsburg (DE) WAAG, Andreas 97076 Würzburg (DE) (74) Vertreter: Hoffmann Eitle  Patent- und Rechtsanwälte PartmbB Arabellastraße 30 81925 München 81925 München (DE)