(19)
(11) EP 3 768 871 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.01.2021  Patentblatt  2021/04

(21) Anmeldenummer: 19720848.1

(22) Anmeldetag:  29.04.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/060913
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/223959 (28.11.2019 Gazette  2019/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 23.05.2018 DE 102018112335

(71) Anmelder: Hartmetall-Werkzeugfabrik Paul Horn GmbH
72072 Tübingen (DE)

(72) Erfinder:
  • GAEDIKE, Bastian
    73734 Esslingen (DE)

(74) Vertreter: Witte, Weller & Partner Patentanwälte mbB 
Postfach 10 54 62
70047 Stuttgart
70047 Stuttgart (DE)

   


(54) MAGNETRONSPUTTERVORRICHTUNG